帮助石油化工中什么是远紫外光感光树脂简要说明

远紫外光感光树脂

英文名称:

far

ultraviolet

photographic

resin

CAS号:

分

子

式:

简要概述内容：：

指对深紫外光敏感的感光树脂。深紫外光指波长在250nm左右的光线，能量较高，因此可供选择的树脂较多；目前使用较多的是丙烯酸酯衍生物，或者聚砜类树脂。光的波长较短，作为光刻胶有利于提高分辨率。但是对环境和使用的透光材料有较高要求，因此使用的仪器设备复杂昂贵。根据吸收光后发生光降解或光交联，也可以分成正性和负性深紫外感光树脂。