关于溶胶-凝胶法制备二氧化硅纳米薄膜的问题，如何解决？

开裂的解决：

（1）原料的组成配比应严格控制在可形成溶胶的范围之内，其中TEOS、水和EtOH+i-PrOH所占的体积比分别在18％～50％、7％～52％、30％～65％范围内所形成的溶胶涂膜后膜层不易开裂。

（2）HC1作为TE0S的催化剂，HC1／TEOS之比影响着TEOS的聚合速度，从而直接关系到膜层干燥过程中的开裂与否，最佳的HC1／TEOS范围在（11～17）×10^-3。

（3）在干燥过程中保持气氛在一定的相对湿度能有效地防止膜层的开裂，在较高干燥温度下，这种作用更加明显，而且缩短干燥时问。

（4）干燥后的膜层在后续热处理过程中，热处理升温速率是影响膜层开裂的主要因素，在210度以下应采取0.25度／min的升温速率，否则极易引起膜层的开裂；在210度以上以0.5~1.O度／min升温速率升温也不会引起膜层的开裂。