三氯氢硅合成工艺技术规程

三氯氢硅情况简介一、概况：

1、本品又称三氯硅烷或硅氯仿，分子式为SiHCl3，[wiki]沸点[/wiki]31.8℃，常温时为无色或微黄色的透明可燃液体，易挥发，易水解，易溶于醇、醚、卤化烃，为有机溶剂。

2、本品提纯后主要用生产半导体级[wiki]多晶硅[/wiki]和硅外延片等信息产业基础材料。但因带有氢键和含氯较多，常与其他有机官能团生成一系列的有机硅产品（如氯丙基三氯硅烷，乙烯基氯硅烷辛基氯硅烷等）。

3、由三氯氢硅生产的硅烷偶联剂具有硅化合物耐温，疏水，绝缘等特性，并能将无机分子和有机分子更好搭接，已在橡胶、塑料、[wiki]涂料[/wiki]、纺织等行业，发挥了良好作用，目前国内年生产总量已近万吨，平均年增长在15[wiki]%[/wiki]以上。

4、近年我国多晶硅年需量已近千吨，而自产还不到百吨，大量进口，故对三氯氢硅需求有很大发展空间。

5、由于半导体用硅的需求，我国在六十年代已掌握了三氯氢硅生产技术，生产出纯度很高的产品。近些年，硅烷偶联剂发展，工业用三氯氢硅的生产工艺也日渐完善，技术经济指标也大有提高，目前国内生产总能力已近年万吨。二、生产规模及工艺。

1、生产1吨三氯氢硅将联产四氯化硅约0.3吨，目前四氯化硅国内主用于含硅防水涂料，氯相白炭黑，铸造粘结剂等。

2、从成熟、实用，仍以国内外普通使用的工业纯硅在氯化氢气流下流态氯化，再精溜提纯的工艺路线。

3、主要化学反应式

4、

流程简述：电解槽送出氢气经除氧干燥，同氯气合成氯化氢气，进入反应炉同硅粉生成粗三氯氢硅，经精馏得到合格的三氯氢硅，再分离出合格的四氯化硅，用干燥清洁铁桶罐车包装出厂。

5、产品和主要原料的技术要求：

（一）三氯氢硅，外观为无色或微黄色透明液体，纯度≥98%。

（二）四氯化硅，外观为无色或微黄色透明液体，纯度≥96%。

（三）硅粉含量≥98%，粒度60～160目

（四）氯气含量≥99%，水份≤0.05%，压力0.2～0.3Mpa（五）氢气含量≥98%，水份≤0.01%，压力0.1～0.2Mpa