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什么是低介电常数材料的多孔SiLK和多孔MSQ的对比

来源于上海凯茵化工

更新于 2026.08.20

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什么是低介电常数材料的多孔SiLK和多孔MSQ的对比：

多孔SiLK的机械性能优于多孔MSQ。但是多孔MSQ的结构接近于二氧化硅，同传统集成电路生产工艺处理方法接近。

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