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什么是“全氟化碳”?

来源于上海凯茵化工

更新于 2026.08.20

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中文名:四氟甲烷;四氟化碳

英文名:tetrafluoromethane;

carbon

tetrafluoride

分子式:CF4

相对分子质量:88.01CAS号:75-73-0

危险性类别:第2.2类

不燃气体化学类别:卤代烷

四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

侵入途径:

接触眼睛,接触皮肤,吸入,误食

健康危害:

当中害者因为缺氧不省人事,必须转移到没受污染的地方使之能呼吸新鲜空气或者输入氧气

环境危害:

该物质在常温常压下是气体。吸入高浓度的溶液后,会发生头昏、恶心、呕吐、方向感丧失、失调、昏迷。吸入者会窒息。低温气体会导致冻伤。

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